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光电显微镜的作用

在光电显微镜发明之前,直线尺和刻度盘的大部分线条都是用两组线条对准的。当使用50倍光学显微镜时,瞄准精度约为0.3μM,由于直线尺或刻度盘上有数百条刻线,在检测时需要逐个瞄准,测量效率很低。

直线尺和刻度盘是长度和角度测量仪器的标准测量元件。需要用重庆光学显微镜作为瞄准装置来检测直线尺和刻度盘。你想知道它的目的吗?

检查线尺和刻度盘的光电显微镜一般采用双管差动式原理,其光路如图2所示。物镜通过分光棱镜对上、左侧两个狭缝上的刻线进行成像,狭缝的光通量由光电倍增管AB接收并转换成电信调整时用右目镜观察。光电显微镜具有透射和反射光源,可分别用于玻璃和金属线尺(或刻度盘)的检测。

重庆光电显微镜1.png


实现光电显微镜目标的关键是将两条狭缝的相位错开一条狭缝宽度。当十字线图像从左到右进入物镜时,显示光电倍增管AB接收到的狭缝光通量的变化;电路计算AB信号之间的差(A-B),差信号的过零点为瞄准点;此时,发出采样脉冲,采集长度或角度测量系统的指示,从而获得十字线的实际位置。

光电显微镜的瞄准精度可达(0.10.14μM,由于可以实现动态自动瞄准,因此具有很高的测量效率。新天光电曾生产jC9光电显微镜。现在企业还有生产能力。


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